沸石轉輪中VOCs殘留的（de）處理方法，目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體淨（jìng）化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強，沸石（shí）旋轉吸附濃縮（suō）法處理低濃度廢氣成為許多企業的首選處理方（fāng）案。在使用過（guò）程中，揮發性有機化合物殘留在轉輪中，會導致沸石轉輪劣化，降低處理效率（lǜ）。如何（hé）避免和處理這樣的情況？為了減少沸石轉輪設備中揮發性有機化（huà）合物的（de）殘（cán）留，應改善（shàn）揮發性有機化合物廢（fèi）氣的（de）入口質量，提高脫附效率。

　　廢氣預處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據待處理VOCs廢氣的實際情況，選擇合適的廢氣預處理措施。比（bǐ）如半導體的製造工藝對（duì）生產現場（chǎng）的顆粒物有嚴格的要求，一般都是（shì）清潔車間。因此，有機（jī）廢氣中顆粒物的含量很小，通常不需要除塵預處理。

　　1.廢氣（qì）預處理

　　芯片製造生產過程中使用的主要有機原（yuán）料通常具有低（dī）沸點（diǎn）和揮發性的特點，但仍不排除少量（liàng）高沸點物質，如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218 ~ 224℃)。在高沸點物質的處理過程中，可以增加冷凝（níng）、前期活性炭吸附等預處理（lǐ）裝置（zhì），避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點物質進入沸石轉輪。高沸點的（de）VOCs進入廢氣管道後容易（yì）冷凝，從而（ér）增加廢氣的濕度。

　　2.用高壓空氣吹掃

　　在停機、檢（jiǎn）查和維護期間，用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但高壓空氣吹掃隻能去除（chú）附著在沸石轉輪表（biǎo）麵的灰塵，而VOCs有機物通常吸附在分子篩孔隙（xì）中，無法有效去除，需要配合上述其他處理方法（fǎ）進（jìn）行選擇。