原因：單一吸附或吸收工（gōng）藝對複雜混合腐蝕性氣體針對性不足（zú），處理（lǐ）設備（bèi）材質抗腐蝕性（xìng）能差。

解決方案：采用 “分質吸收 + 防腐材質升級” 方案。針對酸性氣體（HF、Cl₂），使用堿性噴淋塔（NaOH 溶液濃度 3%-5%），塔體及管道（dào）采用（yòng） PVDF 或襯膠材質；對於氨氣等堿性（xìng）氣體，設置酸性噴淋（lín）塔（硫酸溶液濃度 2%-3%），兩級處理確保腐蝕性氣體去除效率（lǜ）≥99%。同（tóng）時，定期檢測設備壁厚，每年進行一次防腐塗層維護。

問題 2：矽烷類氣體引發蓄熱體矽垢堵（dǔ）塞原因：矽（guī）烷在常溫下易與空氣反應（yīng）生成固態顆粒，普通過（guò）濾設備無法有效攔截。

解決方案：構建 “預處理 - 分解 - 過濾” 三級係統。首先（xiān）通過惰性氣體（tǐ）稀釋控製矽烷濃度（dù）在（zài）安全範（fàn）圍，然後進入催化分解（jiě）裝置將矽烷轉化為二氧化矽顆粒，最後經高效 HEPA 過（guò）濾器（qì）（過濾精度≥0.1μm）徹底攔截，過濾器需采用抗（kàng）腐蝕材質，每 10 天進行一次壓差檢測（cè），超標及時更換。

問題 3：劇毒氣體泄漏風險高，安全防護不足原因：未設置專門（mén）的劇毒氣體處理單元，缺乏有效的泄漏監測手段。解決方案：在廢氣主（zhǔ）管道前增設劇（jù）毒氣體專（zhuān）用處理模塊，采用化學吸附劑（jì）（如活性炭浸漬（zì）高錳酸（suān）鉀）進行預處（chù）理，去除 90% 以上的（de）劇毒成分；同時在（zài）處（chù）理係統進出口及設備（bèi）周圍安裝（zhuāng）氣體檢測傳感（gǎn）器（檢測精度≤0.1ppm），與（yǔ）排風係（xì）統（tǒng）和緊急停車裝置聯動，一旦超標立即啟動應急處理。