半導體廢氣不做針對性前處理有哪些嚴重後果？
半導體（tǐ）廢氣不做針對性前處理有哪些嚴（yán）重後（hòu）果？摘要
半導體廢氣成分的特殊性決定了（le）前處理環節（jiē）不可（kě）替代，否則將引發一係列問題（tí）：設備深度腐蝕：NF₃、HF 等氣體對 RTO 的不鏽鋼燃燒（shāo）室腐蝕速率（lǜ）可達 0.2mm / 年，短期內就會造成設備焊縫泄漏（lòu），維（wéi）修成本增加 50% 以上，嚴重時需整體更換燃燒室（shì），損失高達數（shù）十萬（wàn）元。蓄熱體功能失效：矽烷等含矽氣（qì）體在高溫下反（fǎn）應生成的二氧化矽（guī）會緊密（mì）附著在蓄熱陶瓷表麵，形（xíng）成堅硬的 “釉質層”，3 個月內即可導致蓄熱體換（huàn）熱效率
- 設備深度腐蝕：NF₃、HF 等氣體對 RTO 的不鏽鋼燃燒室腐蝕速率可達 0.2mm / 年，短期內就會造成設備焊縫泄漏，維（wéi）修成本增加 50% 以上，嚴重時需整體（tǐ）更（gèng）換燃燒（shāo）室，損失高達數十萬元。
蓄熱體功能失效：矽烷等含矽氣體在高溫下反應生成的二氧化矽會（huì）緊密附著在蓄熱陶瓷表麵，形成堅硬的 “釉（yòu）質（zhì）層（céng）”，3 個月內即可導致（zhì）蓄熱體換（huàn）熱效率下降 40%，RTO 運行能（néng）耗飆（biāo）升。
安（ān）全事故（gù）風險：砷（shēn）化氫、磷化氫等劇毒氣（qì）體若未預處理直接進入 RTO，高溫下可能分解產生有毒殘渣（zhā），一旦發生設備泄漏，會對（duì）操作人員（yuán）健康造成極大威脅；同（tóng）時，部分（fèn）氣體遇空氣易自燃（rán），存在爆炸隱患。
環保超標風險：半導體廢氣中 VOCs 和特征汙（wū）染物濃度波動大，若前處理不到位，RTO 無法穩定達到 99% 以上的銷毀效（xiào）率，極易出現排放超標，麵臨環保部門的高額罰款和停（tíng）產整改。
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