#廢氣處（chù）理設備#電（diàn）子廠涉及到的行業很多，不同行業在工（gōng）藝上有一定差異，產生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導體行業入手為大家（jiā）介紹電子廠廢氣處理。電子廠半（bàn）導（dǎo）體廢氣的處理（lǐ）主要（yào）針對半導體行業有（yǒu）機廢氣和毒性氣體的治理，我們嚐（cháng）試使用筒式沸石轉輪廢氣（qì）處理技術。半導體行業（yè）產生（shēng）的有機廢氣，主要可以分（fèn）為，半導體製（zhì）造工藝有機（jī）廢氣，和半導體封裝工藝產生的（de）有機廢氣。

　　半導體製造工藝

　　1、電子行業生產廠家處理有機廢（fèi）氣和毒氣的處理方法

　　現在，半導體製造過程中排（pái）放的含有有機成分的廢（fèi）氣（qì）(voc)通常采用直接焚燒、活性（xìng）炭（tàn）吸附、生物氧化等方法進行（háng）處理（lǐ）。

　　2、針對電子廠廢氣處理（lǐ）半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉輪廢氣處（chù）理技術的淨化原理是：

　　將普通的220V/380V交流電通（tōng）過變（biàn）壓器，變頻器轉換為（wéi）高頻高壓的電（diàn）壓，產生足以擊穿（chuān）氣（qì）體的電壓（yā），釋放出高能（néng）電子，高能電子（zǐ）破壞有機廢氣中的氣體（tǐ）分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產（chǎn）生了各種（zhǒng）碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自（zì）由基、臭氧等混合體，等離子體中（zhōng）的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，最終產生排放到大氣中的氣體為（wéi）無汙染的二氧化碳（tàn）（CO2）和（hé）水(H2O)。

　　3、電子廠廢（fèi）氣處（chù）理筒（tǒng）式沸石轉輪廢氣處理技術具有以下優點：

　　放電產生的筒式沸石轉輪體（tǐ）中，電子能（néng）量高，幾乎可以（yǐ）和所有（yǒu）的惡臭氣體分子作用。

　　反（fǎn）應快，不受氣速限製。

　　采用防腐蝕材料。

　　隻（zhī）需用電，操作極為簡（jiǎn）單。

　　設備啟動、停止十分迅（xùn）速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。

　　氣阻小，適用於大風量的廢氣處理。

　　4、電子（zǐ）廠廢氣處理筒式沸（fèi）石轉輪廢氣處理技術應用領域：集成電路生產企業、分立器件生產企業、光電組件生（shēng）產企業。

　　5、半導體企業廢氣排放特征（zhēng）分析

　　半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

　　6、半導體行業有機廢氣和毒氣的來（lái）源

　　半導體製造工藝產生的揮發性有（yǒu）機廢氣，主要來源於（yú）光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與（yǔ）半導體製造工藝相比（bǐ），半導體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠後烘烤過程產生的烘烤廢氣。

　　含毒氣性廢氣，其來源為化學氣相沉積（jī）、幹蝕刻機、擴散、離子布值機及磊（lěi）晶等製程時所產（chǎn）生。主要成（chéng）分（fèn）是磷化氫等。

　　電子廠廢（fèi）氣處理半導體筒式沸石轉輪（lún）技術，在實際設計中，需要（yào）加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截（jié）粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

　　針對排放的腐蝕性強的氯化氫酸性廢氣，采用兩級堿噴淋塔（tǎ）處理係統對其進行處理。通過對（duì）比產生、排放濃度和速率可知，該處理係統對氯化氫酸性廢氣的去（qù）除效率可達95%以上。電子行業企業產生的腐蝕性強（qiáng）、有毒有害的氯化氫酸（suān）性廢氣，可（kě）采用（yòng）兩級堿噴淋塔淨化工藝（yì），以達到高（gāo）效淨化、經濟（jì）可行、穩定性高的效果。