隨著（zhe）新材料行業的發展（zhǎn），全國各地新材料行業的規模也日益擴大，新材（cái）料的發（fā）展對社（shè）會起了積極的作用,然而（ér）其對生態環境的破壞也是存在的（de）,影響z大的是有機化合物或毒性物質。

　　新材料行業半導（dǎo）體廢氣處（chù）理方法（fǎ）及工藝

　　新材料行業與傳（chuán）統材料相比，新（xīn）材料產業具（jù）有技術高度密（mì）集，研究與開發投入高，產品的（de）附加值高（gāo），生產與市場的國際性強，以及應用範圍廣，發展前景好等特點，其研發水平及產業化規模已成為衡量一個國（guó）家經濟，社會發展，科技進步和國防實力的重要標誌，世界各國特別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。   作為新材料產業的代表之一，半導（dǎo）體工藝對操（cāo）作室清潔度要求（qiú）極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮（huī）發的各類廢氣，因此半導體行（háng）業（yè）廢（fèi）氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣（qì）排放主要可以分（fèn）為（wéi）四類：酸性氣體、堿（jiǎn）性氣體（tǐ）、有機（jī）廢氣和有毒氣體。

　　半導體企（qǐ）業酸性或堿性廢氣：酸堿中和處理法。

　　酸堿廢氣治理工藝流程為： 風管廢氣收集→酸性（xìng）/堿（jiǎn）性廢氣洗滌塔化學（xué）洗滌→耐腐蝕風機引風→煙囪排氣達（dá）標排放 

　　有機廢氣治理工藝：直接燃燒法

　　有機廢氣治理工藝流程為：  有機廢氣風管廢氣收集（jí）→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達標排放