隨著新材料行業的發展，全國各地新材（cái）料行業的規模也日益擴大，新材料的發展對社會起了積極的作用,然而其對生態環境的破壞也是存在（zài）的,影響z大的是（shì）有機化合物或毒性物質。

　　新材料行業半導體廢氣處理（lǐ）方法及工（gōng）藝

　　新材料行（háng）業與傳統材料相比，新材料產業具有技術高度密集，研究與開（kāi）發投入高（gāo），產品的附加值高，生產與市場的國際性強，以及應用範圍廣，發展前景好等特點，其研（yán）發水平及產業化規模已成為衡量一個國家經（jīng）濟（jì），社會發展，科技進步和國防實力的重要（yào）標誌，世界各國特（tè）別是發達國家都十分重視新材料產業的發展。 作為新材料產業的代表之一，半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常（cháng）使用（yòng）風機抽取工藝過程中揮發（fā）的各類廢氣，因此半導體行業廢氣（qì）排放具（jù）有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣（qì）排放主要可（kě）以（yǐ）分為四（sì）類：酸性氣體、堿性氣體、有（yǒu）機廢氣和（hé）有毒氣體。

　　半導體企業酸（suān）性或堿性廢氣：酸堿中和處理法。

　　酸堿（jiǎn）廢氣治理工藝流（liú）程為： 風管廢氣收集→酸性/堿性廢（fèi）氣洗滌塔化學洗滌→耐腐蝕風機引（yǐn）風→煙囪排氣達標排放

　　有機廢（fèi）氣治理工藝：直接燃燒法

　　有機廢氣治（zhì）理工藝流程為：有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉（zhuǎn）輪吸附濃縮→直（zhí）燃爐（TO）→煙囪（cōng）排氣（qì）達標排放

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