如今新的《大氣汙染（rǎn）防（fáng）治法》、《大（dà）氣汙染防治行動計劃》、《揮發性有機物(VOCs)汙染防治技（jì）術政策（cè）》等法規的陸續頒布，我國對VOCs處理（lǐ）標準和力度逐步增強。剝離液、稀釋液等其造成的（de）有機廢氣具有大風量（liàng）、低濃度（dù）芯片製造業因為大量采用有機溶液作為清洗劑、光刻膠等特點。

　　為了更好地有效地處理此類（lèi）VOCs廢（fèi）氣（qì），沸石轉輪吸附濃縮法成（chéng）為了行（háng）之有效的優選處理方案。沸石轉輪采用沸石分子篩作為吸附劑，具有耐高溫、較高機械強度等（děng）性能，可以滿足連續吸咐、脫附的需求。針對（duì）不（bú）同的VOCs成（chéng）份，應有目的（de）性（xìng）地選用吸附效率高的（de）沸石分子篩作（zuò）為吸附劑，才能達到理想的、高效的VOCs處理效果。

　　因此，文中以（yǐ）芯片廠為調（diào）查樣本，研究其VOCs廢氣成份（fèn），為其（qí）沸石轉輪係統的沸石（shí）分子篩選擇提供值得借鑒的方案和建議。現階段芯片製造業涉及揮發性有機物包括：異丙醇、丙酮、二甘醇（chún）胺（àn）、二（èr）甲（jiǎ）基乙酰胺、丙二（èr）醇單甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸、醋酸等。

　　研究人（rén）員（yuán）對沸石吸（xī）附劑對（duì）芯片製造業有機廢氣的吸附等（děng）溫線研究結果顯示：沸石（shí）分子篩對該行（háng）業有機廢氣具（jù）有較高的（de）吸附容量和吸附效率，屬於有利的吸附等溫線。此外，沸石（shí）分（fèn）子篩（shāi）還具有耐高溫、機械強度高等性能，在處（chù）理VOCs廢氣方麵具有（yǒu）較（jiào）高的綜合性（xìng）能。其中，異丙醇是芯片生產製造過程中（zhōng）最常用的清洗劑；PMG是（shì）稀釋劑、光刻（kè）膠等物質的主要成分。兩者的年消耗量巨大，僅上海某芯片工廠，這2種物質的年用量以百噸計，是其VOCs有機（jī）廢氣中的主要汙染物。
　　廣東91成人環境科技（jì）有限公司生產的沸石轉輪催化燃燒裝置吸附選擇性強，運行成本低，使（shǐ）用壽（shòu）命長，維護成本低，吸附脫附可連續（xù）運行（háng），脫附達到能循（xún）環狀（zhuàng）態節約能耗（hào）等優點。預處理過（guò）濾效率大於99%，淨化效率高於95%，整個裝置采用模組化設計，滿足了小空間（jiān）的需求，且提供持續及無人化的（de）操控模式。搭載了天清（qīng）佳遠雲服務（wù）係統，實時遠程監控設備的（de）運行狀況，采集並記錄設（shè）備的運行數據，有專業人員（yuán）對（duì）數據進行分析，共享給用戶，讓用戶隨（suí）時了解設備運行狀況，並提出合理的運行建議，必要時主動迅速的為用戶提供服務，及時為（wéi）客戶解決問題（tí）。