沸石（shí）轉輪中VOCs殘留的處理方法，目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生（shēng）物處理、吸收、等（děng）離子體淨化等。我國防治VOCs的要求和（hé）力度逐步加強，沸石旋（xuán）轉吸附濃縮法（fǎ）處理低濃度廢氣成為許多企業的首（shǒu）選處理方案。在使用（yòng）過程中，揮發性有機化合（hé）物殘留在轉輪中，會導致沸石轉輪劣化，降低處（chù）理效率。如何避免和處理這樣的情況（kuàng）？為了減少沸石轉輪設備中揮發性有（yǒu）機（jī）化合物的殘留，應改善揮發性（xìng）有機化（huà）合（hé）物廢氣的入口質量，提高脫附效率。

　　廢氣預（yù）處理措（cuò）施（shī）通常包括除塵、除濕、除霧、除高（gāo）沸物等。根據待處理VOCs廢氣的實際情況（kuàng），選擇合適的廢氣預處理措施。比如半導體（tǐ）的製造工藝對生產現場的顆粒物有嚴（yán）格的（de）要求，一般都是清潔車間。因此，有（yǒu）機廢氣中顆粒（lì）物的含量很小，通常不需要（yào）除塵預處理。

　　1.廢氣預處理

　　芯（xīn）片（piàn）製造生產過程中使用的主要有機原料通常具有低沸（fèi）點和揮發性（xìng）的（de）特（tè）點，但仍不排除少量高沸點物質，如（rú）汽提液的主（zhǔ）要（yào）成（chéng）分二甘（gān）醇胺(沸（fèi）程218 ~ 224℃)。在（zài）高沸點物質的處理過程中，可以增加（jiā）冷凝、前期活性炭吸附等預處理裝置，避免VOCs廢氣中難以脫（tuō）附（fù）的高沸點物質進入沸石轉輪。高沸點的VOCs進入廢氣管道後容易（yì）冷凝，從而增加廢氣的濕度。

　　2.用（yòng）高壓空氣吹掃

　　在停機、檢查和維護期間，用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但高壓空氣吹掃隻能去除附著在沸石轉輪表麵的灰塵，而VOCs有機物通常吸附在分子篩孔隙中，無法有效去除（chú），需要配合上述其他處理方法進行選（xuǎn）擇（zé）。