廢氣處理又稱廢氣淨化，指的是針對工業場所、工（gōng）廠車（chē）間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到廢氣對外排放的標準的工作。

　　催化燃燒是（shì）一（yī）種類似熱氧化的方式來處理VOC 的（de）, 它淨化（huà）有機物是用（yòng）鉑、鈀等貴金屬催化（huà）劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰, 操作溫度較（jiào）熱氧（yǎng）化低一半, 通（tōng）常為250 ℃～500 ℃。由（yóu）於溫度降低（dī）, 允許使用標準材料來代替昂貴的（de）特殊材料, 大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似, 係（xì）統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。

　　間壁（bì）式催化燃（rán）燒（shāo）(簡稱為TR0)是在催化床後設一個換熱器,該換熱（rè）器在降低排放氣溫度的同時, 也預熱含VOC 的有機廢氣, 其熱回收達60 %～75 %。該類氧化器早已用於工業過程。

　　蓄熱催化燃燒(簡稱為（wéi）RCO) 是一種新的催化技術。它具有RTO 高效回收能量的特點和催化反應的（de）低溫操作及能（néng）量（liàng）有效性的優點, 將催化（huà）劑置於蓄（xù）熱材料的頂（dǐng）部, 來使淨化（huà）達到優, 其熱回收（shōu）率高達95 %～98 %。RCO 係統性能的關鍵是使用專用的催化劑（jì）,浸漬在鞍狀或是蜂（fēng）窩（wō）狀陶瓷上的（de）貴（guì）金屬或過渡金屬催化劑, 允許氧化發生在RTO 係統溫度的一半,既降低了燃（rán）料消耗, 又（yòu）降低了設備造價。

　　有的已（yǐ）經開始使用RCO 技術進行有機廢氣（qì）的消除處理, 很多RTO 設備已開始轉變成RCO , 這樣（yàng）可（kě）以削減操作費（fèi）用達33 %～75 % ,並增加排放氣流量達20 %～40 %。