低溫等離子工（gōng）業廢氣處（chù）理設備和技術作為一種新型的氣態（tài）汙染物處（chù）理技術是一種（zhǒng）集物理，化（huà）學，生物和環境科學（xué）於一體的交叉集成電子化學技術，因為能很容易使汙染物（wù）分子高（gāo）效分解且處理能耗低等特（tè）點，是最多的一種國內外大氣汙染控製的有前途和有效的技術（shù）方法。它（tā）具有廣泛的使用和推廣前景，它為工業領域中的VOC有機廢氣和惡臭氣體治理開辟了新（xīn）的思路。

　　1.主要采用脈衝高頻高壓等（děng）離子電（diàn）源和雙介質齒板放電裝置，端子放電形式產生高濃（nóng）度離子（zǐ）。等離子體是一種聚集材（cái）料（liào），其高（gāo）能（néng）電（diàn）子可以在幾毫秒內瞬間穿透空氣和排氣分子，發生一係列的分化和裂（liè）解反應，產（chǎn）生高濃度，高強度，高能量活動自由度。堿和各種電子，離子等，當與機器廢氣中（zhōng）的分子碰撞時發生一係列（liè）物理化學反應，並在反應過程中產（chǎn）生各種活性自由基和生態氧，即由原子氧產生的臭氧分解。

　　2.活（huó）性自由基（jī）可以有效地破壞（huài）各種病毒和細菌（jun1）中的核酸和蛋白質，使它們無法進行正常的新陳代謝和生物合成，從（cóng）而導致它們死亡；生態氧可迅速在血漿中含有大量有機廢（fèi）氣分子。高能電子，正離子和負離子，激發態粒子和具有強氧化性（xìng）質的後型自由基。這些活性顆粒與一些廢氣分子碰撞，同時產生（shēng）的大量OH、HO2、O等活性自（zì）由基和氧（yǎng）化性極（jí）強的O3，能與有害氣（qì）體分（fèn）子發生（shēng）化（huà）學反（fǎn）應，生成無害產物。